纳米压痕划痕

 

纳米压痕是一种先进的微尺度力学测量技术。它是通过测量作用在压针上的载荷和压入样品表面的深度来获得材料的载荷-位移曲线。其压入深度一般控制在微/纳米尺度，因此要求测试仪器的位移传感器具有优于1nm的分辨率，所以称之为纳米压痕仪。是最简单的测试材料力学性质的方法之一。

实验中随着实验载荷的不断增大，位移不断增加，当载荷达到最大值时，位移亦达到最大值即最大压痕深度hmx;随后卸载，位移最终回到一固定值，此时的深度叫残留压痕hr，也就是压头在样品上留下的永久塑型变形。

它特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料力学性能，可以在纳米尺度上测量材料的力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。

平台服务能力范围

压力范围：0-1000mN

温度范围：-150℃-100℃

测试环境：大气环境、真空环境、高低温环境

其他：搭载不同尺寸的针尖，在载荷均匀增加下，结合划痕形貌、深度曲线、声信号等判断膜层与基底间的结合力。